中国国家标准：电子级水（GB/T 11446.1-2013）

电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-2013）

1、范围

GB/T11446的本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检测规则.

本标准适用于电子元器件和半导体工业生产和清洗用水。

2、规范性引用文件

下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用的构成为本标准的条文。本标准出版时，

所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准新版本

的可能性。

GB/T 11446.3—2013 电子级水测试方法通则

GB/T 11446.4—2013 电子级水电阻率的测试方法

GB/T 11446.5—2013电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法

GB/T 11446.6—2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

GB/T 11446.7—2013电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法

GB/T 11446.8—2013 电子级水中总有机碳的测试方法

GB/T 11446.9—2013 电子级水中微粒的仪器测试方法

GB/T 11446.10—2013电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法

3、术语和定义     

下列术语和定义适用本标准。

3.1电子级水electronic grade water

  电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。

3.2电阻率resistivity

   在规定温度下,1 cm³（正立方体）水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号P表示，单位为欧姆厘米Ω﹒cm，纯水的理论电阻率为18.3 MΩ﹒cm (25℃)。

3.3全硅total silicon

   水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。

3.4可溶性硅soluble silicon

   以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐。

3.5微粒性物质granular matter

   除气体以外，以非液态分散在水中，并形成非均相混合物的物质。

3.6总有机碳(TOC) total organic carbon

水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。

3.7吸附absorption

  某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的能力。

3.8凝聚coagulation

   在源水中加入某种电解质后，水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和，从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。

3.9絮凝flocculation

   水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是在凝聚作用后

缓慢进行，可除去水中更细的微粒。

3.10砂滤器sand filter

    用于盛放不同直径的砂粒，以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置。

3.11活性碳过滤器activated carbon filter

    装有粒状活性碳的过滤器，用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。

3.12离子交换ion exchange     

一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程，该过程中物质并无实质性结构变化。

3.13离子交换树脂ion-exchange resin

一种合成的有机离子交换材料

3.14去离子水deionized water

    经过离子交换处理，除去了呈离子形式的杂质的高纯水。

3. 15再生regeneration

    离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中，用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。

3.16复合床complex bed

    将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中，将两柱串联，使水依次通过两个柱而被纯化，复合床处理水的纯度虽不及混合床，但操作较简单。

3.17混合床mixed bed

    将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀，填充于同一离子交换柱中，其纯化效果相当于许多组合床串联使用，出水质量好但再生比较麻烦。

3.18电渗析electrodialysia

    一种分离水中离子的方法。在电渗析器中，阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分隔成一系列小室，水流通过小室时，在直流电场作用下，水中阳离子向阴极方向移动，但不能通过阳膜；阴离子则相反。这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。

3.19反渗透reverse osmosis

    亦称逆向渗透。一种利用渗透原理进行分离的方法。用半透膜将浓水和淡水隔开，并在浓水上施加比渗透压更强的机械压力，则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中，达到分离提纯的目的。

3.20反渗透膜reverse osmosis membrane

    用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜，其孔径一般为0. 02 μm或更小，可用于除去无机离子、有机物、细菌等，使水纯化。

3. 21微孔膜滤器membrane filter  

   一种平均孔径（直径）大于0. Olμm的薄膜，能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近。

3.22超过滤uhrafihration

   一种过滤方法，在一定压力下使水流通过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等。 

3.23终端terminal

   高纯水生产流程中经过各道净化工艺后，水的出口或使用地点。

 3.24无菌sterile

不含任何活有机体（不论是活跃的或休眠的）。

3.25PH

水溶液中氢离子活度的负对数或氢氧根离子活度倒数的负对数。

4、分类和标记

4.1分类

电子级水分为四个级别；I级、Ⅱ级、Ⅲ级和Ⅳ级。

4.2标记

    I级电子级水标记为：EW-I

    I级电子级水标记为；EW-Ⅱ

    I级电子级水标记为；EW-Ⅲ

  Ⅳ级电子级水标记为.EW-Ⅳ

5、要求

    电子级水的技术指标应符合表1的规定。

                 表1电子级水的技术指标

6、试验方法

6.1电阻率

   电子级水的电阻率按GB/T11446.4--2013的测试方法进行测定。

6.2全硅含量（以二氧化硅计）

   电子级水全硅（以二氧化硅计）含量按GB/T11446.6--2013的测试方法进行测定。

6.3微粒数     

   电子级水中微粒数按GB/T11446.9--2003的测试方法进行测定。

6.4细菌总数

   电子级水中细菌总数按GB/T11446.10--2013的测试方法进行测定。

6.5痕量金属含量

   电子级水中痕量金属的含量按GB/T11446. 5--2013的测试方法进行测定。

6.6氟离子、氯离子，硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量

   电子级水中氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子等阴离子的含量按GB/T 11446.7-- 2013的测试方法进行测定。

6.7总有机碳含量

电子级水中总机碳含量按GB/T11446.8--2013的测试方法进行测定。

7、 检验规则

7.1检验部门

   电子级水的检验均应在有资质的检验部门进行。

7.2检验分类

   电子级水的检验分为交收检验和例行检验。

7.3交收检验（抽验项目）

7.3.1电子级水技术指标中电阻率、钠离子、全硅（以二氧化硅计）为交收检验项目。

7.3.2在用水终端采样试验后检验结果如有一项不合格时，应再次采样进行检验，如仍有一项指标不合格，应提出改进措施直到水质合格。

7.4例行检验（全检项目）

   例行检验每年进行一次，当制水条件发生变更时也应进行例行检验。

7.4.1检验项目为表1规定的全部技术指标要求。 

7.4.2在用水终端采样后进行例行检验，检验结果如有一项以上不合格时，应再次采样进行检验，如仍有一项以上指标不合格，应提出改进措施直到水质合格。

8、 采样、贮存、运输及标志

8.1 电子级水的采样、贮存运输按GB/T11446.3--2013的规定。

8.2标志：在用水终端采样进行检验时，水质合格后应附有检验合格证，合格证应注明；

 a) 名称及级别

 b) 各项技术指标

 c) 制水单位

 d) 供水日期

 e) 检验员签章及检验日期